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PHI nanoTOF IITM飛行時間質譜儀是第五代SIMS儀器，該儀器具有*的飛行時間（TOF）分析儀，它擁有市場上TOF-SIMS儀器中大的角度和能量接收范圍，它使用了具有優良離子傳輸能力的三級聚焦半球形靜電分析器，實現了高空間分辨率和質量分辨率。PHI nanoTOF IITM還具有很高的成像能力，可以表征形貌復雜的樣品而沒有陰影效應。

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