C60-40 離子源系統(tǒng) 是目前性能較高的C60光束，具有300納米的光斑尺寸和高達(dá)1毫安的束流。從生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用到聚合物科學(xué)和冶金，C60-40都可以做到這一點(diǎn)。得益于與其他C60離子束相同的均勻?yàn)R射，但由于更高的束能量，C60-40具有難以置信的精細(xì)斑點(diǎn)和更高的蝕刻率，是一種用于廣泛應(yīng)用的極其強(qiáng)大的分析工具。

產(chǎn)品型號(hào)：C60 40

更新時(shí)間：2025-09-12

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俄歇電子能譜儀飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀 X射線光電子能譜儀離子源系統(tǒng)

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C60-40 離子源系統(tǒng) 是目前性能較高的C60光束，具有300納米的光斑尺寸和高達(dá)1毫安的束流。

從生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用到聚合物科學(xué)和冶金，C60-40都可以做到這一點(diǎn)。得益于與其他C60離子束相同的均勻?yàn)R射，但由于更高的束能量，C60-40具有難以置信的精細(xì)斑點(diǎn)和更高的蝕刻率，是一種用于廣泛應(yīng)用的極其強(qiáng)大的分析工具。

C60-40 離子源系統(tǒng) 是一款出色的全能型產(chǎn)品，Ionoptika銷售的每臺(tái)J105SIMS儀器中都包含C60-40。

主要參數(shù)：

主要應(yīng)用	分析
光斑尺寸	300 µm
掃描范圍	1 x 1 mm
能耗范圍	10 – 40 kV
電流范圍	1 nA
法蘭至機(jī)頭長(zhǎng)度	168 ± 5 mm
推薦工作距離	22 ± 2 mm
電源裝置	6U x 19’’ rack mountable unit
電源要求	110-240VAC 13A 50/60Hz
軟件要求	PC running Windows 10 or later
集成法蘭規(guī)格	NW 63 CF

特點(diǎn):

◇ 用于 SIMS 分析的出色的全部方位離子束；

◇ 小光斑尺寸可達(dá) 300 nm；

◇ 電流高達(dá) 1 nA；

◇ Wien濾波器，用于在直流和脈沖操作過程中進(jìn)行質(zhì)量濾波；

◇ 提供快速脈沖、脈沖串、光柵和二次電子檢測(cè)功能；

◇ 閘閥，便于快速維修

應(yīng)用技術(shù)：

下圖顯示了C60-40在正離子模式下獲得的半導(dǎo)體堆棧的3D SIMS圖像。樣品由InSb、Al和GaAs層組成，覆蓋在保護(hù)性光刻膠層中。

這種軟有機(jī)、無機(jī)和硬金屬層的結(jié)合對(duì)于大多數(shù)其他離子束來說是極其困難的。C60-40是這一棘手應(yīng)用的理想選擇，因為它在不同材料上具有一致的濺射速率。C60-40與300 nm的光斑尺寸相結(jié)合，是一種強(qiáng)大的光束，無論您使用何種類型的樣品，都能在2D和3D中提供較高分辨率。